Oberhammer J. SILICON-MICROMACHINED THZ SYSTEMS - ENABLING THE LARGE-SCALE EXPLOITATION OF MILLIMETER AND SUBMILLIMETER-WAVE FREQUENCIES?. Збірник матеріалів МНТК "ПТ" [інтернет]. 22, Травень 2022 [цит. за 05, Жовтень 2024];:14-6. доступний у: https://conferenc-journal.its.kpi.ua/article/view/255152